导读 【国产光刻胶通过量产验证】证券时报e公司讯，据“中国光谷”公众号消息，近日，光谷企业在半导体专用光刻胶领域实现重大突破：武汉太紫微...
【国产光刻胶通过量产验证】证券时报e公司讯，据“中国光谷”公众号消息，近日，光谷企业在半导体专用光刻胶领域实现重大突破：武汉太紫微光有限公司（简称“太紫微公司”）推出的T150A光刻胶产品，已通过半导体工艺量产验证，实现配方全自主设计，有望开创国内半导体光刻制造新局面。该产品对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。相较于被业内称之为“妖胶”的国外同系列产品UV1610，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大，稳定性更高，坚膜后烘留膜率优秀，其对后道刻蚀工艺表现更为友好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。太紫微公司成立于2024年5月，由华中科技大学武汉光电国家研究中心团队创立。
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